Tipik olaraq, etilen oksidi üçün buxarlanma müddəti poststerilizasiyadan keçir 12 saat, onun buxarlanma dərəcəsi sterilizasiya sahəsindən və müddətindən asılıdır.
Etilen oksidi yalnız məhdud miqdarda bakteriyaları məhv etmək üçün istifadə edilməlidir, qalan etilen oksidi, parçalaya bilmir, will naturally take an extended period to volatilize.