Типично, периодът на изпаряване за етиленов оксид след стерилизация надвишава 12 часа, като скоростта му на изпарение зависи от площта и продължителността на стерилизацията.
Трябва ли етиленовият оксид да се използва само за унищожаване на ограничено количество бактерии, останалия етилен оксид, не може да се разпадне, естествено ще отнеме продължителен период, за да се изпари.