Tipično, period isparavanja za etilen oksid nakon sterilizacije prelazi 12 sati, pri čemu je brzina isparavanja zavisna od površine i trajanja sterilizacije.
Treba li etilen oksid koristiti samo za iskorijenjivanje ograničene količine bakterija, preostali etilen oksid, nesposoban da se pokvari, prirodno će biti potreban duži period da se ispari.