Típicament, el període de volatilització de l'òxid d'etilè posterior a l'esterilització supera 12 hores, amb la seva velocitat d'evaporació depenent de l'àrea i la durada de l'esterilització.
Si s'utilitza l'òxid d'etilè només per eradicar una quantitat limitada de bacteris, l'òxid d'etilè restant, incapaç de trencar-se, naturalment trigarà un període prolongat a volatilitzar-se.