Obvykle, doba těkání pro ethylenoxid po sterilizaci překračuje 12 hodin, přičemž rychlost jeho odpařování je závislá na ploše a délce sterilizace.
Měl by být ethylenoxid použit pouze k vymýcení omezeného množství bakterií, zbývající ethylenoxid, neschopný rozložit, bude přirozeně trvat delší dobu, než se rozkolísá.