معمولا, دوره تبخیر برای اکسید اتیلن پس از عقیم سازی بیشتر است 12 ساعت ها, با نرخ تبخیر آن بستگی به منطقه و مدت زمان عقیم سازی دارد.
آیا باید از اتیلن اکساید صرفاً برای از بین بردن مقدار محدودی از باکتری ها استفاده کرد؟, اتیلن اکسید باقیمانده, قادر به شکستن نیست, به طور طبیعی مدت زمان زیادی طول می کشد تا بی ثبات شود.