Tyypillisesti, etyleenioksidin haihtumisaika steriloinnin jälkeen ylittää 12 tuntia, sen haihtumisnopeus riippuu steriloinnin alueesta ja kestosta.
Pitäisikö eteenioksidia käyttää vain rajoitetun määrän bakteereja hävittämiseen, jäljellä oleva etyleenioksidi, ei pysty hajoamaan, haihtuminen kestää luonnollisesti pitkän ajan.