Normalmente, o período de volatilización para o óxido de etileno posterior á esterilización supera 12 horas, coa súa taxa de evaporación depende da área e da duración da esterilización.
Se o óxido de etileno debe ser empregado só para erradicar unha cantidade limitada de bacterias, o óxido de etileno restante, incapaz de romper, naturalmente tardará un período prolongado en volatilizarse.