Tipično, razdoblje isparavanja za etilen oksid nakon sterilizacije premašuje 12 sati, pri čemu njegova brzina isparavanja ovisi o području i trajanju sterilizacije.
Treba li se etilen oksid koristiti samo za iskorjenjivanje ograničene količine bakterija, preostali etilen oksid, nesposoban slomiti, prirodno će trebati duže vrijeme da ispari.