Typowo, przekracza okres ulatniania się tlenku etylenu po sterylizacji 12 godziny, przy czym szybkość parowania zależy od obszaru i czasu trwania sterylizacji.
Czy tlenek etylenu powinien być stosowany jedynie w celu wyeliminowania ograniczonej ilości bakterii?, pozostały tlenek etylenu, nie mogąc się załamać, naturalnie ulatnia się po dłuższym czasie.