Normalmente, o período de volatilização do óxido de etileno após a esterilização excede as 12 horas, sendo a sua taxa de evaporação dependente da área e da duração da esterilização.
Se o óxido de etileno for utilizado apenas para erradicar uma quantidade limitada de bactérias, o óxido de etileno restante, incapaz de se decompor, levará naturalmente um longo período para se volatilizar.