Typicky, doba prchania pre etylénoxid po sterilizácii presahuje 12 hodiny, pričom rýchlosť jej odparovania závisí od plochy a trvania sterilizácie.
Mal by byť etylénoxid použitý len na eradikáciu obmedzeného množstva baktérií, zostávajúci etylénoxid, neschopný rozložiť, bude prirodzene trvať dlhšie, kým sa bude volatilizovať.