Типично, период испарења за етилен оксид после стерилизације прелази 12 сати, при чему је брзина испаравања зависна од површине и трајања стерилизације.
Да ли етилен оксид треба да се користи само за искорењивање ограничене количине бактерија, преостали етилен оксид, неспособан да се разбије, ће природно бити потребан дужи период да се испари.