โดยทั่วไป, ระยะเวลาการระเหยของเอทิลีนออกไซด์หลังการฆ่าเชื้อเกิน 12 ชั่วโมง, โดยอัตราการระเหยจะขึ้นอยู่กับพื้นที่และระยะเวลาในการฆ่าเชื้อ.
ควรใช้เอทิลีนออกไซด์เพียงเพื่อกำจัดแบคทีเรียในปริมาณที่จำกัดเท่านั้น, เอทิลีนออกไซด์ที่เหลือ, ไม่สามารถพังทลายได้, จะใช้เวลานานกว่าปกติในการระเหย.