Tipik olarak, etilen oksitin sterilizasyon sonrası buharlaşma süresi aşıldı 12 saat, buharlaşma oranı sterilizasyon alanına ve süresine bağlıdır.
Etilen oksit yalnızca sınırlı miktarda bakteriyi yok etmek için mi kullanılmalı?, kalan etilen oksit, yıkılmak mümkün değil, doğal olarak uçucu hale gelmesi uzun bir süre alacaktır.