Типово, період випаровування для етиленоксиду після стерилізації перевищує 12 години, швидкість його випаровування залежить від площі та тривалості стерилізації.
Чи слід використовувати етиленоксид лише для знищення обмеженої кількості бактерій, залишився етиленоксид, неможливо зламати, природним чином потрібен тривалий період для випаровування.